|
Прикладная механика и техническая физика, 2012, том 53, выпуск 6, страницы 65–77
(Mi pmtf1422)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Зависимости формы фронта кристаллизации и скорости роста слитка кремния от режима теплообмена в методе Бриджмена–Стокбаргера
П. В. Антонов, В. С. Бердников Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск
Аннотация:
Численно исследован сопряженный теплообмен при выращивании кристаллов мультикремния в плоскодонных тиглях по методу Бриджмена–Стокбаргера. С учетом теплоты фазового перехода решены нестационарные уравнения конвективного теплообмена в области, занятой расплавом кремния, а также уравнения теплопроводности в массиве затвердевшего кремния и в стенках графитового тигля правильной цилиндрической формы. Проведено сравнение процессов кристаллизации в режиме нестационарной теплопроводности и режиме термогравитационной конвекции.
Ключевые слова:
кремний, рост кристаллов из расплава, метод Бриджмена–Стокбаргера, сопряженный конвективный теплообмен, учет теплоты фазового перехода, численное моделирование, метод конечных элементов.
Поступила в редакцию: 14.01.2011 Исправленный вариант: 16.02.2012
Образец цитирования:
П. В. Антонов, В. С. Бердников, “Зависимости формы фронта кристаллизации и скорости роста слитка кремния от режима теплообмена в методе Бриджмена–Стокбаргера”, Прикл. мех. техн. физ., 53:6 (2012), 65–77; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 53:6 (2012), 860–870
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1422 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v53/i6/p65
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 29 | PDF полного текста: | 7 |
|