Прикладная механика и техническая физика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Прикл. мех. техн. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Прикладная механика и техническая физика, 2023, том 64, выпуск 3, страницы 131–136
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202215179 (Mi pmtf1312) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Структурирование поверхности кремния плазмой тлеющего разряда

А. В. Петроваab, А. Л. Богословцеваab, С. В. Старинскийab, А. И. Сафоновa

a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
b Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия
PDF полного текста (971 kB) Первая страница Список цитирования (2)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.15372/PMTF202215179
Аннотация: Показана возможность изменения морфологии поверхности кремния при определенных параметрах тлеющего разряда. Установлено, что при обработке плазмой тлеющего разряда основным процессом, влияющим на морфологию поверхности, является окисление.
В результате обработки в исследуемом диапазоне параметров наблюдаются различные стадии процесса окисления поверхности: образование равномерного оксидного слоя, формирование нано- и микроструктур оксида кремния. Показано, что указанные процессы приводят к модификации поверхности, которая приобретает устойчивые гидрофильные и супергидрофильные свойства.
Ключевые слова: тлеющий разряд, обработка кремния, окисление, смачиваемость, гидрофильность.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 18-79-10119-П
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (код проекта 18-79-10119-П).
Поступила в редакцию: 22.07.2022
Исправленный вариант: 07.11.2022
Принята в печать: 28.11.2022
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2023, Volume 64, Issue 3, Pages 472–477
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021894423030136
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.17: 541.64
Образец цитирования: А. В. Петрова, А. Л. Богословцева, С. В. Старинский, А. И. Сафонов, “Структурирование поверхности кремния плазмой тлеющего разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 64:3 (2023), 131–136; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 64:3 (2023), 472–477
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PetBogSta23}
\by А.~В.~Петрова, А.~Л.~Богословцева, С.~В.~Старинский, А.~И.~Сафонов
\paper Структурирование поверхности кремния плазмой тлеющего разряда
\jour Прикл. мех. техн. физ.
\yr 2023
\vol 64
\issue 3
\pages 131--136
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pmtf1312}
\crossref{https://doi.org/10.15372/PMTF202215179}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=53804236}
\transl
\jour J. Appl. Mech. Tech. Phys.
\yr 2023
\vol 64
\issue 3
\pages 472--477
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021894423030136}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1312
  • https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v64/i3/p131
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Прикладная механика и техническая физика Прикладная механика и техническая физика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:68
    Список литературы:15
    Первая страница:7
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024