|
Прикладная механика и техническая физика, 2014, том 55, выпуск 2, страницы 94–100
(Mi pmtf1083)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Газоструйный синтез алмазоподобных пленок из потока газовой смеси $\mathrm{H}_2+\mathrm{CH}_4$
А. А. Емельянов, А. К. Ребров, И. Б. Юдин Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск
Аннотация:
Экспериментально изучен процесс синтеза алмазоподобных покрытий из высокоскоростного потока газовых смесей в режимах течения от свободномолекулярного до континуального со скоростями потока от сотен до тысяч метров в секунду при различных удельных расходах и температурах в случае активации газов на горячих поверхностях. Исследовано осаждение углеродных пленок при низком (менее 0,15 Па) и высоком (2600 Па) давлениях из смеси водорода и метана. Проведено прямое статистическое моделирование течения водорода в соответствии с условиями эксперимента с заданными температурами поверхностей и химическими превращениями на них. Установлено, что полученные при высоком давлении покрытия содержат характерные для алмаза частицы, а также необычные включения в виде призм с гексагональным сечением.
Ключевые слова:
алмазоподобные пленки, газоструйное осаждение, прямое статистическое моделирование.
Поступила в редакцию: 24.05.2013
Образец цитирования:
А. А. Емельянов, А. К. Ребров, И. Б. Юдин, “Газоструйный синтез алмазоподобных пленок из потока газовой смеси $\mathrm{H}_2+\mathrm{CH}_4$”, Прикл. мех. техн. физ., 55:2 (2014), 94–100; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 55:2 (2014), 270–275
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1083 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v55/i2/p94
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 33 | PDF полного текста: | 17 |
|