|
Прикладная механика и техническая физика, 2014, том 55, выпуск 3, страницы 192–204
(Mi pmtf1074)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Связанная модель формирования покрытия на подложке цилиндрической формы
С. А. Шанинa, А. Г. Князеваab a Томский политехнический университет, 634004 Томск
b Институт физики прочности и материаловедения, 634021 Томск
Аннотация:
Предложена связанная модель формирования покрытия на поверхности детали цилиндрической формы при осаждении из плазмы, учитывающая явления термодиффузии, диффузионной теплопроводности, переноса массы под действием градиента напряжений и образования химических соединений. Скорость роста покрытия считается заданной функцией скоростей частиц и их концентрации вблизи поверхности растущего покрытия. Задача решается численно. Показано, что в процессе роста перекрестные диффузионные потоки, диффузионная теплопроводность и термодиффузия приводят к уменьшению ширины переходной зоны между подложкой и покрытием. Это влияние становится наиболее существенным в случае, если подложка обладает низкой теплопроводностью.
Учет напряжений в системе покрытие – подложка, возникающих в процессе осаждения, приводит к изменению эффективных коэффициентов переноса и оказывает значительное влияние на результат моделирования распределения химических элементов и их соединений в покрытии.
Ключевые слова:
осаждение покрытия, перекрестные эффекты, химические превращения, связанная модель.
Поступила в редакцию: 28.02.2013 Исправленный вариант: 16.05.2013
Образец цитирования:
С. А. Шанин, А. Г. Князева, “Связанная модель формирования покрытия на подложке цилиндрической формы”, Прикл. мех. техн. физ., 55:3 (2014), 192–204; J. Appl. Mech. Tech. Phys., 55:3 (2014), 539–550
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmtf1074 https://www.mathnet.ru/rus/pmtf/v55/i3/p192
|
|