Численное исследование поля течения алмазоподобной углеродной пленки в реакционной камере циклотронно-резонансного плазмохимического газофазного осаждения

Анализируется влияние скорости реагирующего газа на свойства пленки с целью определения оптимальных параметров для получения однородной алмазоподобной углеродной пленки в реакционной камере циклотронно-резонансного плазмохимического газофазного осаждения. С использованием методов вычислительной гидродинамики моделируются химические поверхностные реакции, поля течения и температуры, а также процесс тепломассообмена. Из результатов численного моделирования следует, что естественная конвекция и массоперенос оказывают влияние на возвратное течение, а следовательно, и на распределение материала при осаждении. Возникновение возвратного течения обусловлено наличием концевой пластины в верхней части подложки, что приводит к существенному увеличению скорости осаждения. При этом уменьшается однородность поверхности подложки.