|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
ФИЗИКА. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Современные и перспективные полупроводниковые материалы для микроэлектроники следующего десятилетия (2020-2030 гг.)
А. А. Демидов, С. Б. Рыбалка Брянский государственный технический университет
Аннотация:
В обзоре рассмотрены современные и перспективные полупроводниковые материалы (кремний ($Si$), карбид кремния ($SiC$), нитрид галлия ($GaN$), алмаз, оксид галлия ($Ga_2O_3$ ), нитрид алюминия ($AlN$), нитрид бора ($BN$)) с точки зрения их использования при импортозамещении существующих и создании новых изделий микроэлектроники. Дана оценка перспективности использования наиболее актуальных полупроводниковых материалов в ближайшее десятилетие.
Ключевые слова:
кремний ($Si$), карбид кремния ($SiC$), нитрид галлия ($GaN$), алмаз, оксид галлия ($Ga_2O_3$ ), нитрид алюминия ($AlN$), нитрид бора ($BN$), силовая микроэлектроника.
Поступила в редакцию: 29.03.2021
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pmf304
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 20 |
|