Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 1985, том 11, выпуск 17, страницы 1048–1053 (Mi pjtf979)  
Высоковольтная электронная литография через трафаретные шаблоны

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Р. Х. Махмутов, А. М. Прохоров

Институт общей физики АН СССР, Москва
PDF полного текста (3693 kB)
Поступила в редакцию: 20.06.1985
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. А. Валиев, Л. В. Великов, Р. Х. Махмутов, А. М. Прохоров, “Высоковольтная электронная литография через трафаретные шаблоны”, Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1048–1053
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ValVelMak85}
\by К.~А.~Валиев, Л.~В.~Великов, Р.~Х.~Махмутов, А.~М.~Прохоров
\paper Высоковольтная электронная литография через трафаретные шаблоны
\jour Письма в ЖТФ
\yr 1985
\vol 11
\issue 17
\pages 1048--1053
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf979}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf979
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v11/i17/p1048
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024