|
Письма в Журнал технической физики, 1985, том 11, выпуск 17, страницы 1025–1030
(Mi pjtf974)
|
|
|
|
Наносекундная одноимпульсная лазерная литография
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. М. Прохоров Институт общей физики АН СССР, г. Москва
Поступила в редакцию: 12.06.1985
Образец цитирования:
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. М. Прохоров, “Наносекундная одноимпульсная лазерная литография”, Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1025–1030
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf974 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v11/i17/p1025
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 69 | PDF полного текста: | 20 |
|