|
Письма в Журнал технической физики, 1985, том 11, выпуск 3, страницы 144–148
(Mi pjtf764)
|
|
|
|
Селективное травление экспонированных лазером тонких пленок хрома
В. П. Коронкевич, А. Г. Полещук, Е. Г. Чурин, Ю. И. Юрлов Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР, Новосибирск
Поступила в редакцию: 27.06.1984
Образец цитирования:
В. П. Коронкевич, А. Г. Полещук, Е. Г. Чурин, Ю. И. Юрлов, “Селективное травление экспонированных лазером тонких пленок хрома”, Письма в ЖТФ, 11:3 (1985), 144–148
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf764 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v11/i3/p144
|
|