Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2024, том 50, выпуск 4, страницы 31–33
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2024.04.57098.19744 (Mi pjtf6612) 		 
Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения

В. А. Вольпяс, Р. А. Платонов, В. В. Карзин, Т. К. Легкова, А. Д. Иванов, А. М. Сосунов, А. Б. Козырев

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (124 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2024.04.57098.19744
Аннотация: Предложен метод определения величины давления газовой среды непосредственно в области дрейфа распыленных атомов мишени при ионно-плазменном осаждении тонких пленок. На примере распыления одноатомных мишеней титана и ниобия получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости скорости их осаждения от давления рабочего газа. Сравнение этих результатов позволило определить распределение величины давления газовой среды в области дрейфа распыленных атомов мишень-подложка. Продемонстрировано радикальное различие между значениями показания датчика давления (0.6 Pa) и реальным скорректированным давлением (от 5 Pa в зоне распыления мишени до 1 Pa в зоне осаждения на подложке).
Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение пленок, корректность определения давления рабочего газа.
Поступила в редакцию: 27.09.2023
Исправленный вариант: 27.09.2023
Принята в печать: 15.11.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. А. Вольпяс, Р. А. Платонов, В. В. Карзин, Т. К. Легкова, А. Д. Иванов, А. М. Сосунов, А. Б. Козырев, “Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения”, Письма в ЖТФ, 50:4 (2024), 31–33
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VolPlaKar24}
\by В.~А.~Вольпяс, Р.~А.~Платонов, В.~В.~Карзин, Т.~К.~Легкова, А.~Д.~Иванов, А.~М.~Сосунов, А.~Б.~Козырев
\paper Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2024
\vol 50
\issue 4
\pages 31--33
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6612}
\crossref{https://doi.org/10.61011/PJTF.2024.04.57098.19744}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=60020026}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6612
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v50/i4/p31
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:11
    PDF полного текста:2
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025