|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Влияние состава зародышевого слоя AlGaAs на формирование антифазных доменов в структурах (Al)GaAs, выращенных газофазной эпитаксией на подложках Ge/Si(100)
А. В. Рыковa, Р. Н. Крюковa, И. В. Самарцевa, П. А. Юнинb, В. Г. Шенгуровa, А. В. Зайцевa, Н. В. Байдусьa a Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, г. Нижний Новгород
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Исследованы гетероструктуры на основе GaAs, выращенные методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений и гидридов на виртуальных подложках Ge/Si с использованием зародышевого слоя Al$_x$Ga$_{1-x}$As с различным содержанием алюминия $x$ в твердом растворе. Показано влияние $x$ на плотность и размеры антифазных доменов, выходящих на поверхность образцов, и на оптические свойства слоя GaAs. Для роста использованы подложки (100) с небольшим случайным отклонением от номинальной кристаллографической ориентации 0.7$^\circ$ к [110].
Ключевые слова:
гетероэпитаксия, А$_3$В$_5$ на кремнии, антифазные дефекты, фотолюминесценция.
Поступила в редакцию: 23.12.2020 Исправленный вариант: 13.01.2021 Принята в печать: 17.01.2021
Образец цитирования:
А. В. Рыков, Р. Н. Крюков, И. В. Самарцев, П. А. Юнин, В. Г. Шенгуров, А. В. Зайцев, Н. В. Байдусь, “Влияние состава зародышевого слоя AlGaAs на формирование антифазных доменов в структурах (Al)GaAs, выращенных газофазной эпитаксией на подложках Ge/Si(100)”, Письма в ЖТФ, 47:8 (2021), 37–40; Tech. Phys. Lett., 47:5 (2021), 413–416
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6565 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i8/p37
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 61 | PDF полного текста: | 32 |
|