|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Энергетические распределения вторичных заряженных частиц при распылении газовыми кластерными ионами
А. Е. Иешкинab, А. А. Татаринцевa, Д. С. Киреевa, В. И. Бачуринb, А. С. Рудыйb a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
b Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
Аннотация:
Проведено экспериментальное исследование энергетических спектров заряженных частиц, эмитированных из поликристаллической меди при облучении кластерными ионами аргона и ксенона. Положительные частицы, выбитые кластерными ионами, имеют существенно меньшие энергии, чем при распылении атомарным аргоном. Спектры заряженных частиц, эмитированных при бомбардировке кластерами ксенона, систематически у́же, чем аналогичные спектры, полученные при бомбардировке кластерами аргона. Обнаруженные закономерности могут быть объяснены с точки зрения особенностей передачи энергии от кластера к мишени.
Ключевые слова:
кластерные ионы, распыление, ионно-электронная эмиссия, энергетические распределения.
Поступила в редакцию: 16.12.2020 Исправленный вариант: 08.01.2021 Принята в печать: 11.01.2021
Образец цитирования:
А. Е. Иешкин, А. А. Татаринцев, Д. С. Киреев, В. И. Бачурин, А. С. Рудый, “Энергетические распределения вторичных заряженных частиц при распылении газовыми кластерными ионами”, Письма в ЖТФ, 47:8 (2021), 25–28; Tech. Phys. Lett., 47:5 (2021), 381–384
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6562 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v47/i8/p25
|
|