Формирование плотных массивов наночастиц золота в тонких пленках стабилизированного диоксида циркония методом магнетронного распыления

Методом послойного магнетронного осаждения с последующим отжигом сформированы слои наночастиц (НЧ) Au в пленках стабилизированного диоксида циркония (СДЦ) на подложках из плавленого кварца. Сформированные структуры исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) высокого разрешения на поперечных срезах и спектроскопии оптического поглощения. Результаты ПЭМ-исследований показывают формирование НЧ Au диаметром 2–3 nm, сосредоточенных в тонком слое внутри пленки СДЦ. Спектры оптического поглощения исследуемых образцов демонстрируют пики резонансного плазмонного поглощения в НЧ Au с длиной волны максимума $\sim$650 nm. Определены зависимости геометрических и структурных характеристик массивов НЧ Au (размеры, плотность, толщина слоя НЧ Au и др.) от условий формирования, установлены режимы формирования плотных массивов НЧ Au, в которых возможны коллективные плазмонные возбуждения.