|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 1, страницы 42–48
(Mi pjtf6547)
|
|
|
|
Термическая литография тонких пленок диоксида ванадия
В. Н. Андреев, В. А. Климов, М. Е. Компан Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Предложена методика, позволяющая создавать в тонких пленках диоксида ванадия упорядоченные группы микрообластей с резко различающимися оптическими и электрическими свойствами. Методика основана на отжиге тонких пленок в вакууме, приводящем к выходу кислорода из диоксида ванадия с образованием в нем кислородных вакансий.
Поступила в редакцию: 11.08.2015
Образец цитирования:
В. Н. Андреев, В. А. Климов, М. Е. Компан, “Термическая литография тонких пленок диоксида ванадия”, Письма в ЖТФ, 42:1 (2016), 42–48; Tech. Phys. Lett., 42:1 (2016), 19–22
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6547 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i1/p42
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 32 | PDF полного текста: | 17 |
|