|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 3, страницы 61–67
(Mi pjtf6519)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Структура и диэлектрические свойства тонких пленок цирконата-титаната бария, полученных ВЧ магнетронным распылением
А. В. Тумаркинa, С. В. Разумовa, А. Г. Гагаринa, А. Г. Алтынниковa, В. М. Стожаровb, Е. Ю. Каптеловc, С. В. Сенкевичc, И. П. Пронинc a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
b Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Субмикронные тонкие слои BaZr$_{x}$Ti$_{1-x}$O$_{3}$ in situ выращены методом ВЧ магнетронного распыления керамической мишени ($x$ = 0.50) на подложке Pt/$r$-срез лейкосапфира Al$_{2}$O$_{3}$. Показано, что состав сегнетоэлектрического слоя не соответствует составу распыляемой мишени и сдвигается в сторону цирконата бария. Обсуждаются причины подобного поведения. Полученные образцы характеризуются высокими пробивными напряжениями (1 MV/cm и выше). Исследованы структурные и высокочастотные диэлектрические свойства, выявлена высокая управляемость емкости тонких слоев.
Поступила в редакцию: 01.09.2015
Образец цитирования:
А. В. Тумаркин, С. В. Разумов, А. Г. Гагарин, А. Г. Алтынников, В. М. Стожаров, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, “Структура и диэлектрические свойства тонких пленок цирконата-титаната бария, полученных ВЧ магнетронным распылением”, Письма в ЖТФ, 42:3 (2016), 61–67; Tech. Phys. Lett., 42:2 (2016), 143–145
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6519 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i3/p61
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 59 | PDF полного текста: | 18 |
|