|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 5, страницы 40–48
(Mi pjtf6487)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Нелинейные калибровочные зависимости в методе вторично-ионной масс-спектрометрии для количественного анализа гетероструктур GeSi с нанокластерами
М. Н. Дроздовab, Ю. Н. Дроздовab, А. В. Новиковab, П. А. Юнинab, Д. В. Юрасовab a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
Впервые в практике вторично-ионной масс-спектрометрии получена нелинейная калибровочная зависимость для отношения кластерных и элементарных вторичных ионов германия Ge$_{2}$/Ge, не содержащая вторичных ионов кремния, что позволяет проводить количественный анализ концентрации германия в гетероструктурах Ge$_{x}$Si$_{1-x}$ во всем диапазоне $x$: 0 $<x\le$ 1. Разработан метод количественного латерального анализа – построение латеральной карты $x$. Развит алгоритм выявления и анализа латеральной неоднородности $x$ в гетероструктурах Ge$_{x}$Si$_{1-x}$ с 3D-кластерами путем сопоставления результатов послойного анализа с использованием линейной и нелинейной калибровочных зависимостей, определена концентрация $x$ в самоформирующихся наноостровках.
Поступила в редакцию: 25.09.2015
Образец цитирования:
М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, А. В. Новиков, П. А. Юнин, Д. В. Юрасов, “Нелинейные калибровочные зависимости в методе вторично-ионной масс-спектрометрии для количественного анализа гетероструктур GeSi с нанокластерами”, Письма в ЖТФ, 42:5 (2016), 40–48; Tech. Phys. Lett., 42:3 (2016), 243–247
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6487 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i5/p40
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 24 | PDF полного текста: | 17 |
|