Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 8, страницы 86–93 (Mi pjtf6448)  
Влияние условий выращивания на морфологию поверхности и развитие механических напряжений в слоях Al(Ga)N в процессе газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений

В. В. Лундин, Е. Е. Заварин, П. Н. Брунков, М. А. Яговкина, С. И. Трошков, А. В. Сахаров, А. Е. Николаев, А. Ф. Цацульников

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (425 kB)
Аннотация: Изучено влияние параметров технологического процесса на морфологию поверхности и развитие механических напряжений при газофазной эпитаксии слоев Al(Ga)N из металлоорганических соединений на сапфировых подложках. Минимизация растягивающих напряжений при сохранении атомарно-гладкой поверхности возможна при совместном использовании нитридизации подложки в потоке аммиака, формировании двухслойных структур AlN-Al(Ga)N за счет введения небольшой доли Ga (единицы процентов) после выращивания тонкого слоя AlN и снижения потока аммиака во время роста слоя Al(Ga)N.
Поступила в редакцию: 12.11.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2016, Volume 42, Issue 4, Pages 431–434
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785016040192
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. В. Лундин, Е. Е. Заварин, П. Н. Брунков, М. А. Яговкина, С. И. Трошков, А. В. Сахаров, А. Е. Николаев, А. Ф. Цацульников, “Влияние условий выращивания на морфологию поверхности и развитие механических напряжений в слоях Al(Ga)N в процессе газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений”, Письма в ЖТФ, 42:8 (2016), 86–93; Tech. Phys. Lett., 42:4 (2016), 431–434
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LunZavBru16}
\by В.~В.~Лундин, Е.~Е.~Заварин, П.~Н.~Брунков, М.~А.~Яговкина, С.~И.~Трошков, А.~В.~Сахаров, А.~Е.~Николаев, А.~Ф.~Цацульников
\paper Влияние условий выращивания на морфологию поверхности и развитие механических напряжений в слоях Al(Ga)N в процессе газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2016
\vol 42
\issue 8
\pages 86--93
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6448}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368183}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2016
\vol 42
\issue 4
\pages 431--434
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785016040192}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6448
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i8/p86
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024