|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 10, страницы 62–69
(Mi pjtf6417)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Влияние энергии напыляемых ионов на структуру, состав и свойства мультислойных ионно-плазменных покрытий Ti–Al–Si–N
И. В. Блинков, А. О. Волхонский, Д. С. Белов, В. С. Сергевнин, А. В. Черногор Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
Аннотация:
Обнаружено влияние энергии напыляемых частиц на формирование мультислойной архитектуры покрытий с чередующимися слоями нанокристаллического TiN и аморфного Si$_{3}$N$_{4}$ с включениями нанокристаллического гексагонального AlN при ее значениях для ионов Ti, Al и Si, превышающих величины $\sim$317 $\cdot$ 10$^{-19}$, 267 $\cdot$ 10$^{-19}$ и 230 $\cdot$ 10$^{-19}$ J соответственно. При увеличении энергии ионов титана, бомбардирующих подложку, выше величины $\sim$512 $\cdot$ 10$^{-19}$ J в покрытии наблюдается фазовый переход неупорядоченной фазы TiN$_{x}$ в Ti$_{3}$N$_{2}$ и появление внутри нанокристаллических слоев TiN$_{x}$ толщиной $\sim$15 nm субслоев размером 2–3 nm. Максимальная твердость покрытий при этом составляет величину $\sim$54 GPa.
Поступила в редакцию: 02.12.2015
Образец цитирования:
И. В. Блинков, А. О. Волхонский, Д. С. Белов, В. С. Сергевнин, А. В. Черногор, “Влияние энергии напыляемых ионов на структуру, состав и свойства мультислойных ионно-плазменных покрытий Ti–Al–Si–N”, Письма в ЖТФ, 42:10 (2016), 62–69; Tech. Phys. Lett., 42:5 (2016), 528–531
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6417 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i10/p62
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 27 | PDF полного текста: | 5 |
|