|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 13, страницы 104–110
(Mi pjtf6379)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Особенности фокусировки электронного пучка плазменного источника в форвакуумном диапазоне давлений
А. А. Зенин, И. Ю. Бакеев, Ю. А. Бурачевский, А. С. Климов, Е. М. Окс Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Аннотация:
В результате исследований особенностей фокусировки электронных пучков, генерируемых форвакуумным плазменным источником в области давлений 10–30 Pа, показана принципиальная возможность получения пучков субмиллиметровых размеров. При диаметре электронного пучка 0.6 mm плотность мощности пучка составила 10$^{5}$ W/cm$^{2}$. Достигнутые параметры пучка открывают возможность прецизионной электронно-лучевой обработки диэлектрических материалов, в частности высокотемпературных алюмооксидных керамик.
Поступила в редакцию: 29.11.2015
Образец цитирования:
А. А. Зенин, И. Ю. Бакеев, Ю. А. Бурачевский, А. С. Климов, Е. М. Окс, “Особенности фокусировки электронного пучка плазменного источника в форвакуумном диапазоне давлений”, Письма в ЖТФ, 42:13 (2016), 104–110; Tech. Phys. Lett., 42:7 (2016), 712–714
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6379 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i13/p104
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 44 | PDF полного текста: | 43 |
|