|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 14, страницы 66–71
(Mi pjtf6360)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Квантовые точки InAs/GaAs, выращенные капельным методом в условиях мос-гидридной эпитаксии
М. А. Сурнинаa, Р. Х. Акчуринa, А. А. Мармалюкbc, Т. А. Багаевc, А. Л. Сизовd a Институт тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
c ООО "Сигм Плюс", г. Москва
d Научно-производственное объединение „Орион", Москва
Аннотация:
Представлены результаты формирования квантовых точек (КТ) InAs на подложках GaAs (100) капельным методом с использованием в качестве прекурсоров триметилиндия (ТМIn) и арсина (AsH$_{3}$). Процессы роста осуществляли при температурах 230–400$^\circ$C в реакторе установки МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) горизонтального типа с использованием высокочистого водорода в качестве газа-носителя. Приведены данные по влиянию температуры процесса на геометрические размеры и плотность массива КТ и результаты исследования низкотемпературной фотолюминесценции полученных образцов.
Поступила в редакцию: 04.03.2016
Образец цитирования:
М. А. Сурнина, Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк, Т. А. Багаев, А. Л. Сизов, “Квантовые точки InAs/GaAs, выращенные капельным методом в условиях мос-гидридной эпитаксии”, Письма в ЖТФ, 42:14 (2016), 66–71; Tech. Phys. Lett., 42:7 (2016), 747–749
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6360 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i14/p66
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 56 | PDF полного текста: | 11 |
|