|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 14, страницы 14–20
(Mi pjtf6353)
|
|
|
|
Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе
Д. В. Широкорад, Г. В. Корнич Запорожский национальный технический университет
Аннотация:
Предлагается новый подход к решению задачи восстановления концентрационного профиля примеси при ионном послойном анализе. Алгоритм восстановления профиля основан на использовании искусственной нейронной сети. Входные значения для сети – поверхностные концентрации примеси в последовательные моменты времени послойного анализа. Искусственная нейронная сеть натренирована на разные толщины примесного слоя и глубины его залегания, а также на разные значения параметров используемого в данной модели диффузионно-подобного уравнения ионного перемешивания.
Поступила в редакцию: 15.10.2015
Образец цитирования:
Д. В. Широкорад, Г. В. Корнич, “Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе”, Письма в ЖТФ, 42:14 (2016), 14–20; Tech. Phys. Lett., 42:7 (2016), 722–724
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6353 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i14/p14
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 33 | PDF полного текста: | 10 |
|