Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 14, страницы 14–20 (Mi pjtf6353)  

Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе

Д. В. Широкорад, Г. В. Корнич

Запорожский национальный технический университет
Аннотация: Предлагается новый подход к решению задачи восстановления концентрационного профиля примеси при ионном послойном анализе. Алгоритм восстановления профиля основан на использовании искусственной нейронной сети. Входные значения для сети – поверхностные концентрации примеси в последовательные моменты времени послойного анализа. Искусственная нейронная сеть натренирована на разные толщины примесного слоя и глубины его залегания, а также на разные значения параметров используемого в данной модели диффузионно-подобного уравнения ионного перемешивания.
Поступила в редакцию: 15.10.2015
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2016, Volume 42, Issue 7, Pages 722–724
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785016070282
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. В. Широкорад, Г. В. Корнич, “Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе”, Письма в ЖТФ, 42:14 (2016), 14–20; Tech. Phys. Lett., 42:7 (2016), 722–724
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShyKor16}
\by Д.~В.~Широкорад, Г.~В.~Корнич
\paper Нейросетевой метод восстановления начального профиля концентрации примеси при ионном послойном анализе
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2016
\vol 42
\issue 14
\pages 14--20
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6353}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=27368260}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2016
\vol 42
\issue 7
\pages 722--724
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785016070282}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6353
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i14/p14
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:33
    PDF полного текста:10
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024