Исследования диэлектрических распределенных брэгговских отражателей для вертикально-излучающих лазеров ближнего ИК-диапазона

Выполнены исследования по оптимизации конструкции диэлектрического распределенного брэгговского отражателя (РБО), получаемого методом реактивного магнетронного распыления, для применения в вертикально-излучающих лазерах с внутрирезонаторными контактами (ВК-ВИЛ) ближнего ИК-диапазона. Показано, что снижение отражательной способности диэлектрических РБО на основе SiO$_{2}$/TiO$_{2}$ связано с диффузионным рассеянием света из-за поликристалличности слоев TiO$_{2}$. Аморфные слои Ta$_{2}$O$_{5}$, напротив, обладают низкой шероховатостью поверхности и малой флуктуацией показателя преломления. Продемонстрированы одномодовые ВК-ВИЛ спектрального диапазона 980 nm с диэлектрическим РБО на основе SiO$_{2}$/Ta$_{2}$O$_{5}$, имеющие пороговый ток менее 0.27 mA, электрическим сопротивлением менее 200 $\Omega$ и дифференциальной эффективностью более 0.8 W/A.