|
Письма в Журнал технической физики, 2016, том 42, выпуск 21, страницы 39–46
(Mi pjtf6268)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Особенности взаимодействия протонов с транзисторными структурами с двумерным AlGaN/GaN-каналом
В. В. Емцевa, Е. Е. Заваринa, М. А. Козловскийa, М. Ф. Кудояровa, В. В. Лундинa, Г. А. Оганесянa, В. Н. Петровa, Д. С. Полоскинa, А. В. Сахаровa, С. И. Трошковa, Н. М. Шмидтa, В. Н. Вьюгиновb, А. А. Зыбинb, Я. М. Парнесb, С. И. Видякинc, А. Г. Гудковc, А. Е. Черняковd, В. В. Козловскийe a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b ЗАО "Светлана-Электронприбор", г. Санкт-Петербург
c Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
d Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
e Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Аннотация:
Показано, что взаимодействие протонов с энергией 1 MeV и дозами (0.5–2) $\cdot$ 10$^{14}$ cm$^{-2}$ с транзисторными структурами с двумерным AlGaN/GaN-каналом (AlGaN/GaN-HEMT) сопровождается не только генерацией точечных дефектов, но и образованием локальных областей с разупорядоченным наноматериалом. Степень разупорядоченности наноматериала оценивалась количественно методами мультифрактального анализа. Увеличение степени разупорядоченности наноматериала, наиболее ярко проявляющееся при дозе протонов 2 $\cdot$ 10$^{14}$ cm$^{-2}$, приводит к падению подвижности и электронной плотности в двумерном канале HEMT-структур в несколько раз. При этом на транзисторах наблюдается падение величины тока сток-исток и рост тока утечки затвора на порядок. В HEMT-структурах с повышенной разупорядоченностью наноматериала до воздействия протонов, облучение протонами, даже с дозой 1 $\cdot$ 10$^{14}$ cm$^{-2}$, приводит к подавлению двумерной проводимости в канале и выходу из строя транзисторов.
Поступила в редакцию: 30.03.2016
Образец цитирования:
В. В. Емцев, Е. Е. Заварин, М. А. Козловский, М. Ф. Кудояров, В. В. Лундин, Г. А. Оганесян, В. Н. Петров, Д. С. Полоскин, А. В. Сахаров, С. И. Трошков, Н. М. Шмидт, В. Н. Вьюгинов, А. А. Зыбин, Я. М. Парнес, С. И. Видякин, А. Г. Гудков, А. Е. Черняков, В. В. Козловский, “Особенности взаимодействия протонов с транзисторными структурами с двумерным AlGaN/GaN-каналом”, Письма в ЖТФ, 42:21 (2016), 39–46; Tech. Phys. Lett., 42:11 (2016), 1079–1082
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6268 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v42/i21/p39
|
|