|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Селективный анализ элементного состава нанокластеров InGaAs/GaAs методом вторично-ионной масс-спектрометрии
М. Н. Дроздов, В. М. Данильцев, Ю. Н. Дроздов, О. И. Хрыкин, П. А. Юнин Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Развиваются новые возможности метода вторично-ионной масс-спектрометрии для количественного анализа атомного состава нанокластеров InGaAs в матрице GaAs. С использованием тестовых структур In$_{x}$Ga$_{1-x}$As получены нелинейные калибровочные зависимости “интенсивность-концентрация” для вторичных ионов In$_{2}$As и InAs, которые не содержат нормировки на элементы матрицы Ga или As и позволяют селективно анализировать состав нанокластеров. Проведен количественный послойный анализ концентрации индия и определены статистические характеристики массивов нанокластеров в гетероструктурах InGaAs/GaAs.
Поступила в редакцию: 23.12.2016
Образец цитирования:
М. Н. Дроздов, В. М. Данильцев, Ю. Н. Дроздов, О. И. Хрыкин, П. А. Юнин, “Селективный анализ элементного состава нанокластеров InGaAs/GaAs методом вторично-ионной масс-спектрометрии”, Письма в ЖТФ, 43:10 (2017), 50–59; Tech. Phys. Lett., 43:5 (2017), 477–480
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6224 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i10/p50
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 34 | PDF полного текста: | 5 |
|