Морфология и внутренняя структура тонких пленок оксида олова, газочувствительных к парам этанола при температуре, близкой к комнатной

Методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления были получены тонкие пленки оксида олова. Было показано, что они обладают газочувствительностью к парам этанола при 38$^\circ$C. Измерения морфологии и внутренней структуры скола образцов методами атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии позволили установить, что пленки состоят из наноразмерных зерен стержневидной формы, ориентированных перпендикулярно подложке. Зерна разделены порами, пронизывающими пленку на всю толщину. Было установлено, что распределение зерен по их диаметру является нормальным логарифмическим и имеет несколько центров, которые соотносятся как малые целые числа, что свидетельствует о срастании зерен между собой. Минимальный размер зерна в 6 nm может соответствовать критическому размеру зародыша при выбранных условиях осаждения пленок.