Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2017, том 43, выпуск 16, страницы 87–92
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.16.44937.16852 (Mi pjtf6151) 		 
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)

Формирование гексагональной фазы кремния 9$R$ при ионной имплантации

Д. С. Королевa, А. А. Никольскаяa, Н. О. Кривулинa, А. И. Беловa, А. Н. Михайловa, Д. А. Павловa, Д. И. Тетельбаумa, Н. А. Соболевb, M. Kumarc

a Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Indian Institute of Technology Jodhpur, Jodhpur, India
PDF полного текста (372 kB) Список цитирования (9)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.16.44937.16852
Аннотация: С помощью метода просвечивающей электронной микроскопии в приграничном слое кремния структуры SiO$_{2}$/Si, подвергнутой ионной имплантации и термической обработке, обнаружено образование включений гексагонального кремния (политип 9$R$). Образование гексагональной фазы обусловлено механическими напряжениями, возникающими в гетерофазной системе в процессе ионной имплантации.
Поступила в редакцию: 03.05.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2017, Volume 43, Issue 8, Pages 767–769
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785017080211
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. С. Королев, А. А. Никольская, Н. О. Кривулин, А. И. Белов, А. Н. Михайлов, Д. А. Павлов, Д. И. Тетельбаум, Н. А. Соболев, M. Kumar, “Формирование гексагональной фазы кремния 9$R$ при ионной имплантации”, Письма в ЖТФ, 43:16 (2017), 87–92; Tech. Phys. Lett., 43:8 (2017), 767–769
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KorNikKri17}
\by Д.~С.~Королев, А.~А.~Никольская, Н.~О.~Кривулин, А.~И.~Белов, А.~Н.~Михайлов, Д.~А.~Павлов, Д.~И.~Тетельбаум, Н.~А.~Соболев, M.~Kumar
\paper Формирование гексагональной фазы кремния 9$R$ при ионной имплантации
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2017
\vol 43
\issue 16
\pages 87--92
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6151}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.16.44937.16852}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2017
\vol 43
\issue 8
\pages 767--769
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785017080211}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6151
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i16/p87
    • Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:25
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024