Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2017, том 43, выпуск 17, страницы 78–85
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.17.44950.16804 (Mi pjtf6138) 		 
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)

Влияние рассеяния распыленных атомов на скорость роста пленок, полученных методом магнетронного распыления

Д. М. Митин, А. А. Сердобинцев

Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского
PDF полного текста (216 kB) Список цитирования (14)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.17.44950.16804
Аннотация: Приведены результаты теоретических расчетов доли нерассеянных распыленных атомов при магнетронном распылении. Экспериментально полученная зависимость скорости роста пленок кремния от давления обнаруживает корреляцию с теоретически рассчитанной зависимостью доли нерассеянных распыленных атомов. Увеличение давления в рассматриваемом диапазоне 1.5–8.5 mTorr приводит к снижению скорости роста пленок кремния на 25%, при этом уменьшение доли нерассеянных распыленных атомов на расстоянии катод-подложка достигает 90%.
Поступила в редакцию: 31.03.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2017, Volume 43, Issue 9, Pages 814–816
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785017090073
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. М. Митин, А. А. Сердобинцев, “Влияние рассеяния распыленных атомов на скорость роста пленок, полученных методом магнетронного распыления”, Письма в ЖТФ, 43:17 (2017), 78–85; Tech. Phys. Lett., 43:9 (2017), 814–816
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MitSer17}
\by Д.~М.~Митин, А.~А.~Сердобинцев
\paper Влияние рассеяния распыленных атомов на скорость роста пленок, полученных методом магнетронного распыления
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2017
\vol 43
\issue 17
\pages 78--85
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6138}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.17.44950.16804}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=29934151}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2017
\vol 43
\issue 9
\pages 814--816
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785017090073}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6138
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i17/p78
    • Эта публикация цитируется в следующих 14 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:35
    PDF полного текста:8
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024