Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2017, том 43, выпуск 24, страницы 88–95
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.24.45346.16937 (Mi pjtf6049) 		 
Влияние поверхностной нейтрализации активной примеси на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния $p$-типа

Р. К. Яфаров

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (281 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.24.45346.16937
Аннотация: Исследованы корреляционные закономерности изменений структурно-фазового состава, морфологических и автоэмиссионных характеристик поверхностно структурированных кремниевых пластин дырочного типа проводимости ориентации (100) при их ступенчатой высокодозной ионно-лучевой обработке углеродом. Показано, что ступенчатая имплантация уменьшает пороги автоэмиссии и способствует увеличению максимальных плотностей автоэмиссионных токов более чем на два порядка. Рассмотрены физико-химические механизмы, ответственные за модификацию приповерхностных свойств кремниевых структур при ионной имплантации углерода.
Поступила в редакцию: 28.06.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2017, Volume 43, Issue 12, Pages 1132–1135
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785017120288
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Р. К. Яфаров, “Влияние поверхностной нейтрализации активной примеси на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния $p$-типа”, Письма в ЖТФ, 43:24 (2017), 88–95; Tech. Phys. Lett., 43:12 (2017), 1132–1135
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Yaf17}
\by Р.~К.~Яфаров
\paper Влияние поверхностной нейтрализации активной примеси на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния $p$-типа
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2017
\vol 43
\issue 24
\pages 88--95
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6049}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.24.45346.16937}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=30646467}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2017
\vol 43
\issue 12
\pages 1132--1135
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785017120288}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6049
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i24/p88
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025