Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2017, том 43, выпуск 1, страницы 80–88
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.01.44093.16031 (Mi pjtf6035) 		 
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Влияние добавления диборана на свойства плазмохимически осаждаемых углеродных пленок

Е. Н. Шубинаa, П. А. Карасевa, А. И. Титовa, О. А. Подсвировa, А. Я. Виноградовb, Н. Н. Карасёвc, А. В. Поздняковa

a Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
PDF полного текста (130 kB) Список цитирования (6)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.01.44093.16031
Аннотация: Представлены результаты исследований оптических, электрических, механических свойств алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения из смеси диборана и метана в различных пропорциях. При достижении пороговой концентрации ($\sim$12%) диборана в рабочей смеси, в структуре пленок начинают формироваться включения новой фазы. Это приводит к нелинейной зависимости внутренних напряжений и поверхностного сопротивления получаемых покрытий от состава смеси с минимальными значениями при концентрации диборана $\sim$12%.
Поступила в редакцию: 20.10.2015
Исправленный вариант: 18.07.2016
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2017, Volume 43, Issue 1, Pages 81–84
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785017010114
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Е. Н. Шубина, П. А. Карасев, А. И. Титов, О. А. Подсвиров, А. Я. Виноградов, Н. Н. Карасёв, А. В. Поздняков, “Влияние добавления диборана на свойства плазмохимически осаждаемых углеродных пленок”, Письма в ЖТФ, 43:1 (2017), 80–88; Tech. Phys. Lett., 43:1 (2017), 81–84
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShuKarTit17}
\by Е.~Н.~Шубина, П.~А.~Карасев, А.~И.~Титов, О.~А.~Подсвиров, А.~Я.~Виноградов, Н.~Н.~Карасёв, А.~В.~Поздняков
\paper Влияние добавления диборана на свойства плазмохимически осаждаемых углеродных пленок
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2017
\vol 43
\issue 1
\pages 80--88
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6035}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.01.44093.16031}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=28949508}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2017
\vol 43
\issue 1
\pages 81--84
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785017010114}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6035
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i1/p80
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:53
    PDF полного текста:16
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024