Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2017, том 43, выпуск 1, страницы 14–20
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.01.44084.16420 (Mi pjtf6026) 		 
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Дислокационная фотолюминесценция в кремнии, имплантированном ионами фтора

Н. А. Соболевa, А. Е. Калядинa, В. И. Сахаровa, И. Т. Серенковa, Е. И. Шекa, К. В. Карабешкинa, П. А. Карасевb, А. И. Титовb

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
PDF полного текста (301 kB) Список цитирования (4)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.01.44084.16420
Аннотация: Установлено, что имплантация ионов фтора с энергией 85 keV и дозой 8.3 $\cdot$ 10$^{14}$ cm$^{-2}$ в монокристаллический Si не приводит к формированию аморфного слоя. Последующий отжиг при температуре 1100$^\circ$C в хлорсодержащей атмосфере сопровождается появлением D1- и D2-линий дислокационной люминесценции. Интенсивность обеих линий уменьшается с увеличением времени отжига от 0.25 до 3 h. С увеличением температуры измерения от 80 до 200 K интенсивности этих линий уменьшаются, а положения их максимумов сдвигаются в длинноволновую сторону.
Поступила в редакцию: 15.07.2016
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2017, Volume 43, Issue 1, Pages 50–52
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785017010126
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. А. Соболев, А. Е. Калядин, В. И. Сахаров, И. Т. Серенков, Е. И. Шек, К. В. Карабешкин, П. А. Карасев, А. И. Титов, “Дислокационная фотолюминесценция в кремнии, имплантированном ионами фтора”, Письма в ЖТФ, 43:1 (2017), 14–20; Tech. Phys. Lett., 43:1 (2017), 50–52
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SobKalSak17}
\by Н.~А.~Соболев, А.~Е.~Калядин, В.~И.~Сахаров, И.~Т.~Серенков, Е.~И.~Шек, К.~В.~Карабешкин, П.~А.~Карасев, А.~И.~Титов
\paper Дислокационная фотолюминесценция в кремнии, имплантированном ионами фтора
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2017
\vol 43
\issue 1
\pages 14--20
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6026}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.01.44084.16420}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=28949498}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2017
\vol 43
\issue 1
\pages 50--52
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785017010126}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6026
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i1/p14
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:39
    PDF полного текста:14
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024