|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Создание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора
А. Л. Степановabc, В. И. Нуждинa, М. Ф. Галяутдиновa, Н. В. Курбатоваa, В. Ф. Валеевa, В. В. Воробьевb, Ю. Н. Осинb a Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН
b Казанский федеральный университет
c Казанский национальный исследовательский технологический университет
Аннотация:
Настоящее исследование относится к способам изготовления дифракционных оптических элементов (дифракционных решеток). Дифракционная решетка была получена на основе алмаза при его имплантации ионами бора через маску. В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого алмаза произошла графитизация алмаза, приведшая к распуханию облученного слоя. Формирование периодических поверхностных графитизированных микроструктур на поверхности алмаза контролировалось методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционного оптического алмазного элемента показана путем его зондирования излучением гелий-неонового лазера.
Поступила в редакцию: 23.06.2016
Образец цитирования:
А. Л. Степанов, В. И. Нуждин, М. Ф. Галяутдинов, Н. В. Курбатова, В. Ф. Валеев, В. В. Воробьев, Ю. Н. Осин, “Создание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора”, Письма в ЖТФ, 43:2 (2017), 38–44; Tech. Phys. Lett., 43:1 (2017), 104–106
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6015 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i2/p38
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 51 | PDF полного текста: | 26 |
|