Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2017, том 43, выпуск 2, страницы 18–23
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459 (Mi pjtf6012) 		 
Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)

Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов

А. Е. Иешкинa, К. Д. Кушкинаa, Д. С. Киреевa, Ю. А. Ермаковb, В. С. Чернышab

a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
PDF полного текста (444 kB) Список цитирования (17)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459
Аннотация: Проведено исследование влияния облучения газовыми кластерными ионами на топографию поверхности карбида кремния и алмаза. С помощью атомно-силовой микроскопии показано, что воздействие на эти материалы кластерных ионов с энергией 10 keV и дозами более 10$^{16}$ cm$^{-2}$ приводит к сглаживанию рельефа поверхности. Приведены оценки скорости травления и эффективности сглаживания рельефа в зависимости от толщины удаленного слоя вещества. С помощью спектроскопии комбинационного рассеяния света продемонстрировано отсутствие дефектов, вносимых облучением кластерными ионами в объем мишени.
Поступила в редакцию: 16.08.2016
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2017, Volume 43, Issue 1, Pages 95–97
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785017010205
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Е. Иешкин, К. Д. Кушкина, Д. С. Киреев, Ю. А. Ермаков, В. С. Черныш, “Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов”, Письма в ЖТФ, 43:2 (2017), 18–23; Tech. Phys. Lett., 43:1 (2017), 95–97
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IesKusKir17}
\by А.~Е.~Иешкин, К.~Д.~Кушкина, Д.~С.~Киреев, Ю.~А.~Ермаков, В.~С.~Черныш
\paper Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2017
\vol 43
\issue 2
\pages 18--23
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6012}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=28949512}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2017
\vol 43
\issue 1
\pages 95--97
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785017010205}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6012
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i2/p18
    • Эта публикация цитируется в следующих 17 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024