|
Колебания фронта кристаллизации, вызванные гармоническими осцилляциями скорости вытягивания, для цилиндрической фазы роста кристалла
М. Г. Васильев Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Для низкоградиентного способа выращивания Чохральского предложен метод измерения площади поперечного сечения кристалла с помощью весового датчика по разнице его показаний в крайних положениях штока при ступенчатом и непрерывном режиме модуляции cкорости вытягивания. Произведена оценка изменения скорости кристаллизации при гармонических колебаниях скорости вытягивания с целью сохранения качества выращиваемого кристалла при этом методе измерения.
Поступила в редакцию: 16.07.2016
Образец цитирования:
М. Г. Васильев, “Колебания фронта кристаллизации, вызванные гармоническими осцилляциями скорости вытягивания, для цилиндрической фазы роста кристалла”, Письма в ЖТФ, 43:3 (2017), 12–20; Tech. Phys. Lett., 43:2 (2017), 143–147
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5999 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v43/i3/p12
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 38 | PDF полного текста: | 7 |
|