|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Влияние режима отжига на свойства терагерцевой фотопроводящей антенны на основе LT-GaAs
С. А. Номоевa, И. С. Васильевскийa, А. Н. Виниченкоa, К. И. Козловскийa, А. А. Чистяковa, Е. Д. Мишинаb, Д. И. Хусяиновb, А. М. Буряковb a Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
b МИРЭА — Российский технологический университет, г. Москва
Аннотация:
Методом молекулярно-лучевой эпитаксии выращены пленки LT-GaAs (low temperature gallium arsenide – арсенид галлия, выращенный методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре роста) на подложках GaAs(100) при температуре 230$^\circ$C и проведен постростовый отжиг. На поверхности пленок изготовлены фотопроводящие антенны с флажковой геометрией. Получены мощностные зависимости терагерцевого отклика при различных значениях напряжения смещения и температуры постростового отжига. Методом терагерцевой спектроскопии исследованы спектральные характеристики изготовленных фотопроводящих антенн. Определен диапазон оптимальной температуры постростового отжига (670–720$^\circ$C) пленок LT-GaAs.
Поступила в редакцию: 03.07.2017
Образец цитирования:
С. А. Номоев, И. С. Васильевский, А. Н. Виниченко, К. И. Козловский, А. А. Чистяков, Е. Д. Мишина, Д. И. Хусяинов, А. М. Буряков, “Влияние режима отжига на свойства терагерцевой фотопроводящей антенны на основе LT-GaAs”, Письма в ЖТФ, 44:2 (2018), 11–17; Tech. Phys. Lett., 44:1 (2018), 44–46
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5902 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i2/p11
|
|