Особенности микроструктуры и свойств многоэлементных нитридных покрытий на основе TiZrNbAlYCr

Многокомпонентные наноструктурные покрытия на основе (TiZrNbAlYCr)N с высокой твердостью до 47 GPa получены вакуумно-дуговым методом. Исследовано влияние парциального давления азота $P_{N}$ (при условии подачи постоянного потенциала смещения $U_{b}$ = -200 V на подложку) на изменение фазового состава, размеры кристаллитов и их связи с микроструктурой и твердостью. Повышение давления азота приводит к формированию двух фаз с характерными решетками ОЦК (период решетки 0.342 nm) и ГЦК с усредненными размерами нанокристаллитов 15 и 2 nm. При высоком давлении 0.5 Pa размер кристаллитов составляет уже около 7 nm для ГЦК-фазы, параметр решетки которой равен 0.437 nm. Увеличение размеров кристаллитов ГЦК-фазы до 3.5 nm и уменьшение размеров кристаллитов ОЦК-фазы до 7 nm приводит к значительному повышению твердости осажденных покрытий.