|
Морфологические превращения в нанофазном смачивающем слое меди на кремнии, активированные воздействием зонда атомно-силового микроскопа
Н. И. Плюснин, А. М. Маслов Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, г. Владивосток
Аннотация:
С помощью атомно-силовой микроскопии на воздухе в нанофазном смачивающем слое Cu$_{2}$Si на подложке Si(001) селективно активирован фазовый переход в более стабильный силицид Cu. Этот переход сопровождался увеличением латерального размера зерен, их высоты и уменьшением их плотности. Полученный эффект может быть использован для формирования упорядоченных ансамблей наноостровков и нанолитографии.
Поступила в редакцию: 04.07.2017
Образец цитирования:
Н. И. Плюснин, А. М. Маслов, “Морфологические превращения в нанофазном смачивающем слое меди на кремнии, активированные воздействием зонда атомно-силового микроскопа”, Письма в ЖТФ, 44:5 (2018), 16–24; Tech. Phys. Lett., 44:3 (2018), 187–190
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5865 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i5/p16
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 45 | PDF полного текста: | 15 |
|