Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2018, том 44, выпуск 7, страницы 52–60
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.07.45885.17121
(Mi pjtf5845)
 

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Новые кластерные вторичные ионы для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии

М. Н. Дроздовa, Ю. Н. Дроздовa, М. А. Лобаевb, П. А. Юнинac

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
c Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация: Предложен новый подход для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе на установках вторично-ионной масс-спектрометрии с времяпролетным масс-анализатором. Кроме известных линий масс-спектра, содержащих бор: B, BC и BC$_{2}$, обнаружено большое количество линий кластерных вторичных ионов BC$_{N}$, их интенсивность на один-два порядка возрастает при использовании зондирующих ионов Bi$_{3}$. Наибольшую интенсивность в порядке убывания имеют линии BC$_{4}$, BC$_{6}$, BC$_{2}$ и BC$_{8}$, при суммировании четырех наиболее сильных линий чувствительность возрастает на порядок в сравнении с известным режимом регистрации BC$_{2}$. В монокристаллических пленках алмаза, выращенных в оптимальных условиях, измерены характеристики дельта-слоя бора с рекордными параметрами: ширина дельта-слоя порядка 2 nm, концентрация 6.4 $\cdot$ 10$^{20}$ cm$^{-3}$ с перепадом на четыре порядка по концентрации бора для легированного и нелегированного алмаза.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 17-19-01580
Работа поддерживалась грантом Российского научного фонда (проект № 17-19-01580).
Поступила в редакцию: 17.11.2017
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2018, Volume 44, Issue 4, Pages 297–300
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378501804003X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, М. А. Лобаев, П. А. Юнин, “Новые кластерные вторичные ионы для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии”, Письма в ЖТФ, 44:7 (2018), 52–60; Tech. Phys. Lett., 44:4 (2018), 297–300
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DroDroLob18}
\by М.~Н.~Дроздов, Ю.~Н.~Дроздов, М.~А.~Лобаев, П.~А.~Юнин
\paper Новые кластерные вторичные ионы для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2018
\vol 44
\issue 7
\pages 52--60
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5845}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.07.45885.17121}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32740250}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2018
\vol 44
\issue 4
\pages 297--300
\crossref{https://doi.org/10.1134/S106378501804003X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5845
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i7/p52
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:41
    PDF полного текста:12
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024