|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Новые кластерные вторичные ионы для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
М. Н. Дроздовa, Ю. Н. Дроздовa, М. А. Лобаевb, П. А. Юнинac a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
c Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
Предложен новый подход для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе на установках вторично-ионной масс-спектрометрии с времяпролетным масс-анализатором. Кроме известных линий масс-спектра, содержащих бор: B, BC и BC$_{2}$, обнаружено большое количество линий кластерных вторичных ионов BC$_{N}$, их интенсивность на один-два порядка возрастает при использовании зондирующих ионов Bi$_{3}$. Наибольшую интенсивность в порядке убывания имеют линии BC$_{4}$, BC$_{6}$, BC$_{2}$ и BC$_{8}$, при суммировании четырех наиболее сильных линий чувствительность возрастает на порядок в сравнении с известным режимом регистрации BC$_{2}$. В монокристаллических пленках алмаза, выращенных в оптимальных условиях, измерены характеристики дельта-слоя бора с рекордными параметрами: ширина дельта-слоя порядка 2 nm, концентрация 6.4 $\cdot$ 10$^{20}$ cm$^{-3}$ с перепадом на четыре порядка по концентрации бора для легированного и нелегированного алмаза.
Поступила в редакцию: 17.11.2017
Образец цитирования:
М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, М. А. Лобаев, П. А. Юнин, “Новые кластерные вторичные ионы для количественного анализа концентрации атомов бора в алмазе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии”, Письма в ЖТФ, 44:7 (2018), 52–60; Tech. Phys. Lett., 44:4 (2018), 297–300
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5845 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i7/p52
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 41 | PDF полного текста: | 12 |
|