|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Синтез высокоориентированных пленок оксида цинка на аморфных подложках методом магнетронного распыления на постоянном токе
А. М. Исмаилов, Л. Л. Эмирасланова, М. Х. Рабаданов, М. Р. Рабаданов, И. Ш. Алиев Дагестанский государственный университет, г. Махачкала
Аннотация:
Представлены результаты процесса получения высокоориентированных пленок ZnO на аморфных подложках с высокими скоростями роста (7 nm/s) методом магнетронного распыления на постоянном токе. На основе выполненной оптимизации местоположения подложки относительно магнетрона предложено рассматривать плавающий потенциал, до которого заряжается подложка в плазме магнетронного разряда, в качестве одного из основных технологических параметров. Исследование структурных характеристик методом электронографии показало, что с ростом температуры подложки наблюдается трансформация формы кристаллитов от пластинчатой к столбчатой.
Поступила в редакцию: 24.03.2017 Исправленный вариант: 06.02.2018
Образец цитирования:
А. М. Исмаилов, Л. Л. Эмирасланова, М. Х. Рабаданов, М. Р. Рабаданов, И. Ш. Алиев, “Синтез высокоориентированных пленок оксида цинка на аморфных подложках методом магнетронного распыления на постоянном токе”, Письма в ЖТФ, 44:12 (2018), 52–61; Tech. Phys. Lett., 44:6 (2018), 528–531
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5778 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i12/p52
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 16 |
|