Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2018, том 44, выпуск 12, страницы 52–61
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.12.46291.16792
(Mi pjtf5778)
 

Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Синтез высокоориентированных пленок оксида цинка на аморфных подложках методом магнетронного распыления на постоянном токе

А. М. Исмаилов, Л. Л. Эмирасланова, М. Х. Рабаданов, М. Р. Рабаданов, И. Ш. Алиев

Дагестанский государственный университет, г. Махачкала
Аннотация: Представлены результаты процесса получения высокоориентированных пленок ZnO на аморфных подложках с высокими скоростями роста (7 nm/s) методом магнетронного распыления на постоянном токе. На основе выполненной оптимизации местоположения подложки относительно магнетрона предложено рассматривать плавающий потенциал, до которого заряжается подложка в плазме магнетронного разряда, в качестве одного из основных технологических параметров. Исследование структурных характеристик методом электронографии показало, что с ростом температуры подложки наблюдается трансформация формы кристаллитов от пластинчатой к столбчатой.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 16-02-00227
Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № 16-02-00227.
Поступила в редакцию: 24.03.2017
Исправленный вариант: 06.02.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2018, Volume 44, Issue 6, Pages 528–531
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785018060202
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. М. Исмаилов, Л. Л. Эмирасланова, М. Х. Рабаданов, М. Р. Рабаданов, И. Ш. Алиев, “Синтез высокоориентированных пленок оксида цинка на аморфных подложках методом магнетронного распыления на постоянном токе”, Письма в ЖТФ, 44:12 (2018), 52–61; Tech. Phys. Lett., 44:6 (2018), 528–531
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IsmEmiRab18}
\by А.~М.~Исмаилов, Л.~Л.~Эмирасланова, М.~Х.~Рабаданов, М.~Р.~Рабаданов, И.~Ш.~Алиев
\paper Синтез высокоориентированных пленок оксида цинка на аморфных подложках методом магнетронного распыления на постоянном токе
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2018
\vol 44
\issue 12
\pages 52--61
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5778}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.12.46291.16792}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=34982922}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2018
\vol 44
\issue 6
\pages 528--531
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785018060202}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5778
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i12/p52
  • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:36
    PDF полного текста:16
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024