Особенности наноструктурирования поверхности кремния в результате ее сверхбыстрого нагрева фемтосекундным лазерным импульсом в воде

Методом атомно-силовой микроскопии исследована морфология поверхности кремния после воздействия фемтосекундного лазерного импульса в области припороговых плотностей энергий в воде. По мере увеличения плотности энергии поверхность кремния трансформируется в наномасштабную кольцевую и блистерную структуры, а также гладкие и наноструктурированные микрократеры с минимальной глубиной 1 nm. Обнаружено формирование “отпечатков” звездообразной формы на поверхности микрократера при плотностях энергии выше порога абляции.