Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2018, том 44, выпуск 15, страницы 87–92
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.15.46445.17281 (Mi pjtf5740) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке

А. А. Бобковab, И. А. Пронинab, В. А. Мошниковab, Н. Д. Якушоваa, А. А. Кармановa, И. А. Аверинa, П. А. Сомовb, Е. И. Теруковc

a Пензенский государственный университет
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (145 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.15.46445.17281
Аннотация: В рамках гидротермального метода разработаны приемы литографии, совместимой с кремниевой технологией. При этом топологические рисунки формируются из ограненных микрокристаллов с развитой поверхностью. Особый интерес представляют перспективы реализации новых иерархических структур.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 17-79-20239
Министерство образования и науки Российской Федерации СП-84.2018.1
16.897.2017/4.6
Российский фонд фундаментальных исследований МК-1882.2018.8
Часть работы по исследованию зародышевого слоя для формирования литографического рисунка выполнена за счет гранта РНФ № 17-79-20239, а также стипендии Президента РФ молодым ученым и аспирантам (СП-84.20 Работа выполнялась при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (проект 16.897.2017/4.6) и гранта Президента РФ для молодых кандидатов наук (МК-1882.2018.8).
Поступила в редакцию: 07.03.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2018, Volume 44, Issue 8, Pages 694–696
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785018080047
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. А. Бобков, И. А. Пронин, В. А. Мошников, Н. Д. Якушова, А. А. Карманов, И. А. Аверин, П. А. Сомов, Е. И. Теруков, “Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке”, Письма в ЖТФ, 44:15 (2018), 87–92; Tech. Phys. Lett., 44:8 (2018), 694–696
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BobProMos18}
\by А.~А.~Бобков, И.~А.~Пронин, В.~А.~Мошников, Н.~Д.~Якушова, А.~А.~Карманов, И.~А.~Аверин, П.~А.~Сомов, Е.~И.~Теруков
\paper Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2018
\vol 44
\issue 15
\pages 87--92
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5740}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.15.46445.17281}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=35270693}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2018
\vol 44
\issue 8
\pages 694--696
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785018080047}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5740
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i15/p87
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:37
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024