|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Эпитаксиальные структуры InGaAs/InAlAs/AlAs для гетеробарьерных варакторов с низким током утечки
Н. А. Малеевab, М. А. Бобровa, А. Г. Кузьменковac, А. П. Васильевca, М. М. Кулагинаa, С. Н. Малеевa, С. А. Блохинa, В. Н. Неведомскийa, В. М. Устиновabc a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
c Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Качество гетерограниц и оптимальные условия эпитаксиального выращивания являются критически важными параметрами для получения низких токов утечки гетеробарьерных варакторов (ГБВ) в системе материалов InGaAs/InAlAs/AlAs. Выращенные методом молекулярно-пучковой эпитаксии трехбарьерные структуры ГБВ с примыкающими к барьерному слою InAlAs/AlAs/InAlAs дополнительными рассогласованными слоями InGaAs, испытывающими напряжение сжатия, при оптимальных режимах эпитаксии демонстрируют рекордно низкие уровни плотности тока утечки (не более 0.06 A/cm$^{2}$ при напряжении 5 V и температуре 85$^\circ$C) при относительно тонких AlAs-вставках (толщиной 2 nm).
Поступила в редакцию: 30.05.2018
Образец цитирования:
Н. А. Малеев, М. А. Бобров, А. Г. Кузьменков, А. П. Васильев, М. М. Кулагина, С. Н. Малеев, С. А. Блохин, В. Н. Неведомский, В. М. Устинов, “Эпитаксиальные структуры InGaAs/InAlAs/AlAs для гетеробарьерных варакторов с низким током утечки”, Письма в ЖТФ, 44:19 (2018), 16–23; Tech. Phys. Lett., 44:10 (2018), 862–864
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5675 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i19/p16
|
|