Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2018, том 44, выпуск 20, страницы 37–45
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.20.46804.17335 (Mi pjtf5664) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Моделирование деформации многокристальных сборок NAND-памяти

М. А. Беляевa, В. В. Путролайненa, В. А. Романенкоb

a Петрозаводский государственный университет
b ДжиЭс-Нанотех, Гусев, Калининградская обл., Россия
PDF полного текста (484 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.20.46804.17335
Аннотация: Численно промоделирована деформация многокристальных сборок NAND-памяти при различных значениях толщин подложки и кристаллов. Результаты моделирования согласуются с экспериментальными данными. Показана эквивалентность деформации одно- и многокристальных сборок при одинаковой суммарной толщине кремния. Предложена аналитическая зависимость деформации от толщины подложки и суммарной толщины кремния, которая достаточно хорошо совпадает с модельными данными и может быть использована для предварительной оценки деформации.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 14.580.21.0009
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках соглашения о субсидии № 14.580.21.0009 (уникальный идентификатор проекта RFMEFI58017X0009).
Поступила в редакцию: 17.04.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2018, Volume 44, Issue 10, Pages 919–922
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785018100176
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. А. Беляев, В. В. Путролайнен, В. А. Романенко, “Моделирование деформации многокристальных сборок NAND-памяти”, Письма в ЖТФ, 44:20 (2018), 37–45; Tech. Phys. Lett., 44:10 (2018), 919–922
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BelPutRom18}
\by М.~А.~Беляев, В.~В.~Путролайнен, В.~А.~Романенко
\paper Моделирование деформации многокристальных сборок NAND-памяти
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2018
\vol 44
\issue 20
\pages 37--45
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5664}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.20.46804.17335}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=36905899}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2018
\vol 44
\issue 10
\pages 919--922
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785018100176}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5664
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i20/p37
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:37
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024