Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2018, том 44, выпуск 20, страницы 30–36
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.20.46803.17322 (Mi pjtf5663) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Достоверность выявления пронизывающих дислокаций в эпитаксиальных пленках с помощью структурно-чувствительного травления

А. С. Дерябин, Л. В. Соколов, Е. М. Труханов, К. Б. Фрицлер

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста (855 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.20.46803.17322
Аннотация: На примере гетероструктур Ge/Si(001) рассмотрено соответствие между пронизывающими дислокациями (ПД) и ямками, выявляемыми методом селективного структурного травления. Для пленок, толщина которых $h\le$ 1 $\mu$m, показано, что недостаточное разрешение оптической микроскопии приводит к значительному занижению плотности ПД. Приведены рекомендации для повышения достоверности оценки плотности ПД методом травления.
Поступила в редакцию: 06.04.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2018, Volume 44, Issue 10, Pages 916–918
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785018100218
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. С. Дерябин, Л. В. Соколов, Е. М. Труханов, К. Б. Фрицлер, “Достоверность выявления пронизывающих дислокаций в эпитаксиальных пленках с помощью структурно-чувствительного травления”, Письма в ЖТФ, 44:20 (2018), 30–36; Tech. Phys. Lett., 44:10 (2018), 916–918
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DerSokTru18}
\by А.~С.~Дерябин, Л.~В.~Соколов, Е.~М.~Труханов, К.~Б.~Фрицлер
\paper Достоверность выявления пронизывающих дислокаций в эпитаксиальных пленках с помощью структурно-чувствительного травления
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2018
\vol 44
\issue 20
\pages 30--36
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5663}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2018.20.46803.17322}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=36905898}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2018
\vol 44
\issue 10
\pages 916--918
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785018100218}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5663
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v44/i20/p30
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:45
    PDF полного текста:17
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024