Свойства пленок титаната бария-стронция на кремниевой подложке, нанесенных методом высокочастотного катодного распыления

Методом высокочастотного катодного распыления мишени в атмосфере кислорода получены тонкие пленки твердого раствора Ba$_{0.6}$Sr$_{0.4}$TiO$_{3}$ на поверхности монокристаллического кремния среза (001). Проведены исследования их кристаллической структуры, микроструктуры и оптических характеристик. Показано, что пленки являются оптически анизотропными, поликристаллическими, с преимущественным направлением оси $с$ перпендикулярно подложке. Оси $a$ и $b$ в плоскости положки не имеют выделенного направления. Установлено, что между пленкой и подложкой в процессе синтеза образуется буферный слой толщиной порядка 20 nm, оптически эквивалентный оксиду кремния.