|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Контракция микроволнового разряда в реакторе для газофазного осаждения алмаза
С. А. Богданов, А. М. Горбачев, Д. Б. Радищев, А. Л. Вихарев, М. А. Лобаев Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Обнаружено, что в смеси водород-метан в микроволновом плазменном реакторе для осаждения алмаза существует пороговое давление, начиная с которого происходит контракция микроволнового разряда. Приведены результаты измерений температуры газа и пространственных распределений интенсивности оптического излучения разряда. Обсуждается механизм контракции разряда.
Поступила в редакцию: 12.11.2018
Образец цитирования:
С. А. Богданов, А. М. Горбачев, Д. Б. Радищев, А. Л. Вихарев, М. А. Лобаев, “Контракция микроволнового разряда в реакторе для газофазного осаждения алмаза”, Письма в ЖТФ, 45:3 (2019), 30–33; Tech. Phys. Lett., 45:2 (2019), 89–92
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5548 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i3/p30
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 18 |
|