Анализ структуры многослойных нанокристаллических покрытий на основе параметров массопереноса плазмы, вычисленных методом Монте-Карло

Представлены результаты моделирования плазменных потоков на поверхность вращающихся подложек при горении вакуумной дуги катодной системы Cr–Ti–Mo. Экспериментально исследованы структура и состав arc-PVD-покрытий Ti$_{0.15}$Cr$_{0.74}$Mo$_{0.11}$N$_{0.84}$. Проведен анализ результатов численного моделирования структуры покрытий на основе данных, полученных экспериментальным путем. Показана возможность моделирования структуры многослойных, многокомпонентных покрытий и концентрационного распределения химических элементов, его составляющих, с помощью расчета плазменных потоков методом Монте-Карло.