|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Регулярные микроструктуры на основе пленок полиэтилентерефталата
В. Е. Асадчиковa, С. А. Бединab, А. Б. Васильевa, Ю. В. Григорьевa, В. П. Назьмовc a Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
b Московский педагогический государственный университет, Москва, Россия
c Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Разработан метод формирования регулярных диэлектрических и металлических микроструктур на основе пленок полиэтилентерефталата, облученных на источнике синхротронного излучения через маску с последующим травлением. Для исследования их геометрических параметров использована растровая электронная микроскопия.
Поступила в редакцию: 12.12.2018 Исправленный вариант: 12.12.2018 Принята в печать: 13.12.2018
Образец цитирования:
В. Е. Асадчиков, С. А. Бедин, А. Б. Васильев, Ю. В. Григорьев, В. П. Назьмов, “Регулярные микроструктуры на основе пленок полиэтилентерефталата”, Письма в ЖТФ, 45:5 (2019), 49–51; Tech. Phys. Lett., 45:3 (2019), 232–234
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5518 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i5/p49
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 44 | PDF полного текста: | 15 |
|