Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2019, том 45, выпуск 5, страницы 38–41
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.05.47396.17564 (Mi pjtf5515) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Топография поверхности и оптические характеристики тонких пленок AlN на подложке GaAs (100), полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления

Е. В. Фоминab, А. Д. Бондаревb, A. I. Rumyantsevac, T. Maurerc, Н. А. Пихтинb, С. А. Тарасовa

a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Laboratoire de Nanotechnologie et d’Instrumentation Optique, ICD CNRS UMR 6281, Université de Technologie de Troyes, Troyes, France
PDF полного текста (807 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.05.47396.17564
Аннотация: Представлены результаты исследования топографии поверхности и оптических характеристик тонких пленок AlN, применяющихся в качестве пассивирующих и просветляющих покрытий, осажденных на подложки $n$-GaAs (100) методом реактивного ионно-плазменного распыления. Обнаружено, что условия проведения процесса влияют на структуру и оптические характеристики получаемых пленок, что позволяет получать покрытия с заданными параметрами. Анализ результатов эллипсометрии и атомно-силовой микроскопии поверхности показывает, что показатель преломления пленок коррелирует с текстурой поверхности.
Поступила в редакцию: 16.10.2018
Исправленный вариант: 03.12.2018
Принята в печать: 12.12.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics Letters, 2019, Volume 45, Issue 3, Pages 221–224
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785019030076
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Е. В. Фомин, А. Д. Бондарев, A. I. Rumyantseva, T. Maurer, Н. А. Пихтин, С. А. Тарасов, “Топография поверхности и оптические характеристики тонких пленок AlN на подложке GaAs (100), полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления”, Письма в ЖТФ, 45:5 (2019), 38–41; Tech. Phys. Lett., 45:3 (2019), 221–224
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FomBonRum19}
\by Е.~В.~Фомин, А.~Д.~Бондарев, A.~I.~Rumyantseva, T.~Maurer, Н.~А.~Пихтин, С.~А.~Тарасов
\paper Топография поверхности и оптические характеристики тонких пленок AlN на подложке GaAs (100), полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2019
\vol 45
\issue 5
\pages 38--41
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf5515}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.05.47396.17564}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=37481348}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2019
\vol 45
\issue 3
\pages 221--224
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785019030076}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5515
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i5/p38
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:67
    PDF полного текста:20
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024