|
Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)
Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона
Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, М. А. Роенко Новосибирский государственный университет
Аннотация:
Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости ($\nu$ = 0.2–100 $\mu$m$^{-1}$).
Поступила в редакцию: 14.12.2018 Исправленный вариант: 14.12.2018 Принята в печать: 21.12.2018
Образец цитирования:
Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, М. А. Роенко, “Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона”, Письма в ЖТФ, 45:6 (2019), 30–32; Tech. Phys. Lett., 45:3 (2019), 274–277
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5496 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i6/p30
|
|