|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Исследование состава и фазового состояния тонких пленок цирконата-титаната свинца, полученных высокочастотным магнетронным осаждением, при изменении давления рабочего газа
Д. М. Долгинцевa, В. П. Пронинa, Е. Ю. Каптеловab, С. В. Сенкевичab, И. П. Пронинab a Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Вариации давления рабочей газовой смеси (от 8 до 2 Pa) при высокочастотном магнетронном осаждении тонких перовскитовых пленок цирконата-титаната свинца позволили выявить сильное изменение содержания свинца, которое опускалось ниже стехиометрического и приводило в процессе высокотемпературного отжига к образованию двухфазной (перовскит–пирохлор) структуры. Измерения состава в перовскитовых островках двухфазных пленок показали, что содержание свинца в них равно стехиометрическому или превышает его. На основании полученных данных делается вывод об отсутствии в полученных пленках вакансий свинца.
Поступила в редакцию: 06.12.2018 Исправленный вариант: 06.12.2018 Принята в печать: 11.12.2018
Образец цитирования:
Д. М. Долгинцев, В. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, “Исследование состава и фазового состояния тонких пленок цирконата-титаната свинца, полученных высокочастотным магнетронным осаждением, при изменении давления рабочего газа”, Письма в ЖТФ, 45:6 (2019), 3–6; Tech. Phys. Lett., 45:3 (2019), 246–249
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf5488 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v45/i6/p3
|
|